基本情報

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平井 義彦

Hirai Yoshihiko

ヒライ ヨシヒコ


所属組織

電子数物系

職名

教授

メールアドレス

メールアドレス

ホームページ

http://www.osakafu-u.ac.jp/

担当学部等 【 表示 / 非表示

  • 工学域

  • 工学研究科・工学部

研究分野 【 表示 / 非表示

  • 電子物理

研究テーマ 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント

研究内容 【 表示 / 非表示

  • (概要)ナノインプリント

    (キーワード) ナノ加工,マイクロ加工,リソグラフィ

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 博士(工学)

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会

  • 電子情報通信学会

  • 精密工学会

  • 日本機械学会

受賞 【 表示 / 非表示

  • アジアナノインプリントリソグラフィ会議 最優秀論文賞,2008年04月,Asian nanoimprint lithography conference

  • 第9回アジア・太平洋顕微鏡会議 優秀ポスター賞,2008年11月,9th Asia-Pacific Microscopy Conf.

  • 応用物理学会フェロー,2015年09月,応用物理学会

  • ナノインプリントパイオニア賞,2015年11月,国際ナノインプリントナノプリント会議

  • 最優秀ポスター賞,2016年11月,応用物理学会 国際マイクープーセスナノテクノージー会議

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研究シーズ 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント技術

  • 3次元リソグラフィ技術

著書 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント技術,電子情報通信学会,2014年03月,共著,松井真二ほか

  • ナノインプリントにおける残留応力の影響,技術情報協会,2016年05月,単著,平井 義彦

論文 【 表示 / 非表示

  • Effect of elastic modulus of UV cured resist on demolding force,J. Vac. Sci. Technol. B,2016年11月,M. Shirai, K. Uemura, K. Shimomukai, T. Tochino, H. Kawata, and Y. Hirai

  • Impact of Template Stiffness during Peeling Release in Nanoimprint Lithography,J. Vac. Sci. Technol. B,2016年06月,F. Chalvin, N. Nakamura, T. Tochino, M. Yasuda, H. Kawata and Y. Hirai

  • Impact of Wafer Deformation on Pattern Fabrication for Thermal Nanoimprint Lithography,J. Photopolym. Sci. Technol,2016年06月,H. Kawata, M. Yasuda and Y. Hirai

  • Study on Induced Stress and Strain in Direct Nanoimprint Lithography,J. Photopolym. Sci. Technol,2016年06月,T. Iida, M. Yasuda, H. Kawata and Y. Hirai

  • Three-dimensional imaging approach using built-in lens mask lithography,Microelectron. Eng.,2016年03月,T. Tanaka, H. Kikuta, H. Kawata, M. Yasuda, M. Sasago and Y. Hirai

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授業担当科目 【 表示 / 非表示

  • 半導体プロセス特別講義

  • 半導体プロセス特論

  • 集積回路デバイス

  • 電気回路入門

  • 電気電子系学類総論I

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委員会参画 【 表示 / 非表示

  • 2016年度,International conference on Microengineering and nanotechnology ,International comitte

  • 2016年度,応用物理学会ナノインプリント技術研究会,会長

  • 2016年度,応用物理学会国際マイクープーセスナノテクノージ会議,組織委員

  • 2015年度,応用物理学会 ナノインプリント技術研究会,会長

公開講座等 【 表示 / 非表示

  • 2005年度,精密工学会 これからの生産技術,ナノインプリント法による集積化ナノ構造体作製

  • 2004年度,精密工学会 これからの生産技術,ナノインプリント法による集積化ナノ構造体作製

  • 2003年度,精密工学会 これからの生産技術,ナノインプリント法による集積化ナノ構造体作製