基本情報

写真a

平井 義彦

Hirai Yoshihiko

ヒライ ヨシヒコ


所属組織

電子数物系

職名

教授

メールアドレス

メールアドレス

ホームページ

http://www.osakafu-u.ac.jp/

研究室所在地(キャンパス名)

中百舌鳥キャンパス

担当学域・研究科等 【 表示 / 非表示

  • 工学域

  • 工学研究科

研究分野 【 表示 / 非表示

  • 電子物理

研究テーマ 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント

研究内容 【 表示 / 非表示

  • (概要)ナノインプリント

    (キーワード) ナノ加工,マイクロ加工,リソグラフィ

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 博士(工学),大阪府立大学

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会

  • 電子情報通信学会

  • 精密工学会

  • 日本機械学会

受賞 【 表示 / 非表示

  • アジアナノインプリントリソグラフィ会議 最優秀論文賞,2008年04月,Asian nanoimprint lithography conference

  • 第9回アジア・太平洋顕微鏡会議 優秀ポスター賞,2008年11月,9th Asia-Pacific Microscopy Conf.

  • 応用物理学会フェロー,2015年09月,応用物理学会

  • ナノインプリントパイオニア賞,2015年11月,国際ナノインプリントナノプリント会議

  • 最優秀ポスター賞,2016年11月,応用物理学会 国際マイクープーセスナノテクノージー会議

全件表示 >>

 

研究シーズ 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント技術

  • 3次元リソグラフィ技術

著書 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント技術,電子情報通信学会,2014年03月,共著,松井真二ほか

  • ナノインプリント技術の進展と展望,日本印刷学会誌,2018年11月,未設定,平井義彦

  • ナノインプリント技術の展望,月刊トライボロジー 新樹社 ,2018年01月,未設定,平井義彦

  • UVナノインプリントの成形メカニズムと材料・プロセスの設計,情報協会,2017年11月,未設定,平井義彦

  • ナノインプリントの進展と今後の展望,月刊機能材料 シーエムシー出版,2017年06月,未設定,平井義彦

全件表示 >>

全集・資料集・統計集情報 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント技術ハンドブック,オーム社,2019年11月,平井義彦, 松井真二

論文 【 表示 / 非表示

  • Numerical analysis of pattern shape deformation in UV imprint considering thermal deformation with UV shrinkage and curing,J. Vac. Sci. Technol. B ,2021年01月,Y. Onishi, R. Yamashita, K. Amaya and Y. Hirai

  • Computational Study of the Focus Monitoring with Sub-Wavelength Grating in Optical Lithography,J. Photopolym. Sci. Technol.,2020年06月,T. Yuito, M. Sasago, Y. Hirai

  • Fabrication of Nickel Plasma Etching Mask by Nano-Imprint Lithography and Electroless Plating,J. Photopolym. Sci. Technol.,2020年06月,S. Shimizu, H. Tanabe, M. Yasuda, Y. Hirai, and H. Kawata

  • Numerical Analysis of Pattern Shape Deformation in UV Imprint Due to Curing Shrinkage,J. Photopolym. Sci. Technol,2020年06月,Y. Onishi, R. Yamashita, K. Amaya, and Y. Hirai

  • Stochastic Simulation of Pattern Formation for Negative-Type Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography,J. Photopolym. Sci. Technol,2020年06月,M. Yasuda, M. Koyama, K. Imai, M. Shirai, H. Kawata, and Y. Hirai

全件表示 >>

他研究活動(総説等)情報 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリントによる機能性構造作製の歩みとこれからの展開,表面と真空,2020年11月,平井義彦

  • ナノインプリント用モールドへの表面処理,シランカップリング剤の最新技術動向,2020年10月,平井義彦

  • ナノインプリンティング,薄膜作製応用ハンドブック,2020年08月,平井義彦

  • ナノインプリント技術の現状と今後の展望,精密工学会誌,2020年04月,平井義彦

  • Nanoimprinprinting and its Applications ,Jenny Stanford Publishing,2019年12月,Y. Hirai

全件表示 >>

研究活動(学会発表) 【 表示 / 非表示

  • ディープラーニングを利用したナノインプリントプロセス・材料の設計,第68回応用物理学会春季学術講演会,2021年03月,塚本創, 亀山開, 田邉英毅, 山村龍平, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦

  • ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ(マスクパターンの最適化検討),第68回応用物理学会春季学術講演会,2021年03月,大住知暉, 安田雅昭, 笹子勝, 平井義彦

  • 極端紫外線リソグラフィにおけるパターン形成のシミュレーション解析,第68回応用物理学会春季学術講演会,2021年03月,香山真範, 今井恭平, 白井正充, 平井義彦, 安田雅昭

  • 熱ナノインプリントにおけるインプリント温度の低温化,第68回応用物理学会春季学術講演会,2021年03月,田邉英毅, 清水進吾, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦

  • Molecular Dynamics Study of Resist Structure Changes During Electron Beam Lithography,2020 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf,2020年11月,Y. Miyashita, M. Shirai, Y. Hirai, and M. Yasuda

全件表示 >>

 

授業担当科目 【 表示 / 非表示

  • 半導体プロセス特別講義

  • 半導体プロセス特論

  • 集積回路デバイス

  • 電気回路入門

作成した授業用教科書情報 【 表示 / 非表示

  • ナノインプリント技術,2014年03月,電子情報通信学会,松井真二 平井義彦

 

委員会参画 【 表示 / 非表示

  • 2020年度,International conference on Microengineering and nanotechnology ,組織委員

  • 2020年度,NNT組織委員,委員長

  • 2020年度,iMNE,国際組織委員

  • 2019年度,International conference on Microengineering and nanotechnology ,International comitte

  • 2019年度,International nanoimprint nanoprint technology conference organising comittee,organising comittee

全件表示 >>

公開講座等 【 表示 / 非表示

  • 2005年度,精密工学会 これからの生産技術,ナノインプリント法による集積化ナノ構造体作製

  • 2004年度,精密工学会 これからの生産技術,ナノインプリント法による集積化ナノ構造体作製

  • 2003年度,精密工学会 これからの生産技術,ナノインプリント法による集積化ナノ構造体作製