基本情報

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安田 雅昭

Yasuda Masaaki

ヤスダ マサアキ


所属組織

電子数物系

職名

准教授

メールアドレス

メールアドレス

ホームページ

http://www.pe.osakafu-u.ac.jp/pe5/index.html

研究室所在地(キャンパス名)

中百舌鳥キャンパス

担当学域・研究科等 【 表示 / 非表示

  • 工学域

  • 工学研究科

研究分野 【 表示 / 非表示

  • ナノ計算科学

  • 電子ビーム応用

  • 微細加工プロセス

研究テーマ 【 表示 / 非表示

  • ナノ加工の次世代プロセスシミュレーション開発

  • 電子ビーム応用(顕微鏡・評価・分析・加工)

  • 電子・固体相互作用理論

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 博士(工学),大阪府立大学

  • 工学修士,大阪府立大学

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会

  • 日本顕微鏡学会

  • 日本表面真空学会

受賞 【 表示 / 非表示

  • 優秀ポスター賞,2008年11月,第9回アジア・太平洋顕微鏡学会議

  • 最優秀ポスター賞,2009年07月,第5回先端技術のための材料に関する国際会議

  • 優秀ポスター賞,2015年11月,第28回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議

 

研究シーズ 【 表示 / 非表示

  • ナノ加工の分子動力学解析

  • 電子ビームを用いた顕微鏡・分析・評価技術における諸問題の解析

  • 電子ビーム励起によるナノ材料の構造変化解析

著書 【 表示 / 非表示

  • 電子・イオンビームハンドブック 第4版、6.1節,日本学術振興会132委員会,2021年03月,共著,安田 雅昭 他

  • Computational Chemistry, Chapter 4,Nova Science Publishers,2014年07月,共著,M. Yasuda and K. Tada

  • Lithography, Chapter 26,Intech,2010年02月,共著,M. Yasuda, K. Tada and Y. Hirai

  • 計算シミュレーションと分析データ解析、4.2節,丸善株式会社,2008年01月,共著,村田顕二、安田雅昭

論文 【 表示 / 非表示

  • Fabrication of Nickel Plasma Etching Mask by Nano-Imprint Lithography and Electroless Plating,J. Photopolym. Sci. Technol.,2020年07月,S. Shimizu, H. Tanabe, M. Yasuda, Y. Hirai, H. Kawata

  • Stochastic Simulation of Pattern Formation for Negative-Type Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography,J. Photopolym. Sci. Technol.,2020年05月,M. Yasuda, M. Koyama, K. Imai, M. Shirai, H. Kawata, and Y. Hirai

  • Fabrication of Self-Standing Polystyrene Thin Films with Fine Through Holes by Use of Water Soluble Resin Sacrificial Layer,J. Photopolym. Sci. Technol.,2019年05月,H. Kawata, K. Uchida, M. Yasuda, and Y. Hirai

  • Stochastic Simulation of Pattern Formation for Chemically Amplified Resist in Electron Beam Lithography,Jpn. J. Appl. Phys.,2019年05月,M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda

  • Computational Study of Pattern Formation for Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography,J. Photopolym. Sci. Technol.,2019年,M. Yasuda, M. Koyama, K. Fukunari, M. Shirai, H. Kawata and Y. Hirai

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授業担当科目 【 表示 / 非表示

  • 気体エレクトロニクス

  • 電子・イオンビーム工学特論

  • 電磁気学IB

 

委員会参画 【 表示 / 非表示

  • 2020年度,独立行政法人 日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会,学界幹事

  • 2019年度,独立行政法人 日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会,学界幹事

  • 2018年度,独立行政法人 日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会,委員