基本情報

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川田 博昭

Kawata Hiroaki

カワタ ヒロアキ


所属組織

電子数物系

職名

教授

担当学部等 【 表示 / 非表示

  • 高等教育推進機構

  • 工学研究科・工学部

研究分野 【 表示 / 非表示

  • 電子デバイス・電子機器

  • プラズマ科学

  • マイクロデバイス

研究テーマ 【 表示 / 非表示

  • インプリントの基礎と応用

  • ガラス基板のエッチング

  • シリコンのディープエッチング

  • パターン移植によるマイクマシン作製

  • プロセスプラズマの計測

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研究内容 【 表示 / 非表示

  • (概要)簡便なMEMS作製プロセスの開発と応用

    (キーワード) 移植法,多層MEMS,ディスポーザブルなMEMS

  • (概要)高度なインプリントプロセスの開発

    (キーワード) ナノインプリント,高スループット,離型性

  • (概要)インプリント用ナノモールドの作製

    (キーワード) ナノインプリント,インプリント用モールド,シリコン深堀エッチング,プラズマエッチング

  • (概要)高周波プラズマのプローブ計測、インピーダンス測定

    (キーワード) 高周波プラズマ,ラングミュアプローブ,インピーダンス計測

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 工学博士

所属学会 【 表示 / 非表示

  • センシング技術応用研究会

  • 応用物理学会

  • 日本電気学会

  • 日本真空協会

 

研究シーズ 【 表示 / 非表示

  • インプリントを応用したデバイスの作製

  • インプリント用ナノモールドの作製

  • ナノ貫通孔付き自立フィルムの作製

  • 簡便なMEMS作製プロセスの開発と応用

  • 高度なインプリントプロセスの開発

論文 【 表示 / 非表示

  • Silicon template fabrication for imprint process with good demolding characteristics.,Microelectronic Engineering,,2009年,H. Kawata, M. Matsue, K. Kubo, M. Yasuda and Y. Hirai

 

授業担当科目 【 表示 / 非表示

  • 一般電子デバイス

  • 物理学実験

  • 物理学実験

  • 社会における電気・情報・数理

  • 荷電粒子工学特論